CVD 金剛石涂層技術可在石墨、硬質合金、陶瓷等材料表面沉積出與天然金剛石性能相近的金剛石薄膜。
CVD 金剛石涂層膜具有以下特點:
1、極高的硬度、耐磨性和低的摩擦系數:
可以應用各種工具,如高精度、超高精度加工的切削工具, 拉絲模工具、
砂輪修整工具、摩擦環、密封環等多種耐磨部件。
2、具有高彈性模量:
能制作頻率響應最高(極高頻3~5GHz)的聲表面波器件以及頻響可達到60KHz 以上的高音揚聲器及聲傳感器。
3、自然界最好的導熱材料:
熱導率高出銀、銅等金屬材料5倍以上,得天獨厚的膜片形狀是極為理想的電子器件大面積散熱材料。
4、極高的絕緣電阻及與眾多半導體材料有較好匹配的熱膨脹系數:
可以作為高功率密度電子器件, 如大功率半導體器件、微波器件和大規模集成電路最好的散熱片。
5、優異的光學性能:
從X 射線紫外光-可見光-紅外光直至毫米的微波波段的高透過率, 可用作在惡劣環境中使用的光學窗口。
6、高溫抗幅射性能:
CVD 金剛石半導體器件最高工作溫度可達600℃ 以上,可用在高溫強幅射環境中工作的半導體器件及各種特性的傳感器等。